高純氮氣的注意事項和處理措施

高純氮氣常在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。而在航天技術中，也需要高純氮做置換氣體。

氮氣雖然是無毒、無腐蝕的氣體，存放在鋼瓶中若不規范操作一樣會有安全隱患，故高純氮氣的注意事項和處理措施很重要。

1、消防措施

危險特性：若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。

有害燃燒產物：氮氣。

滅火方法：本品不燃。盡可能將容器從火場移至空曠處。噴水保持火場容器冷掉，直至滅火結束用霧狀水保持火場中容器冷掉?？捎渺F狀水噴淋加速液氮蒸發，但不可使用水槍射至液氮。

2、泄漏應急處理

應急處理：迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格控制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。漏氣容器要妥善處理，檢驗后再用。

3、操作處置

一定不要拉、滾動或滑動鋼瓶。用合適的手推車來移動鋼瓶，不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態。用一個減壓調節閥或獨立的控制閥安全地從氣瓶內釋放氣體。用單向閥來防止倒流。不要加熱氣瓶以使壓力和排出量加大。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難，需停止使用，并與供應商聯系。不可將工具( 如：扳手，螺絲刀，橇棍等)插入閥蓋內。否則會損壞閥 并引起泄漏。使用可調節的帶扳手來打開過緊或 生銹的閥蓋。它與所有的普通材料都是兼容的。管線和設備的設計要滿足壓力的需要。

4、儲存注意事項

在通風良好、安全且不受天氣影響的地方立直存儲，存儲溫度不可高于125F（52C）,存儲區域內不應有燃性材料并遠離頻繁出入處和緊急出口。不應有鹽或其它腐蝕性材料存在。對于還未使用的氣瓶應保持保護閥蓋和輸出閥的密封完好。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲和存儲時間過長。使用先進先出系統，保持良好的存儲記錄。儲區應備有泄漏應急處理設備。